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에너지 화학 및 반도체 기술 발전성

1980년대에 들어 몇몇 대기업들이 기억소자를 중심으로 반도체산업에 본격적으로 진출하면서 반도체 기술개발에 대한 관심이 고조되었다. 1986년 정부는 대통령의 재가를 얻어서 특정연구 개발사업으로 4M DRAM의 설계·공정·제품 및 시험 기술들을 일괄해서 ETRI와 대학·반도체연구조합 등이 공동으로 개발하도록 지원했다.


ETRI가 사업의 총괄조정을, ETRI와 대학은 공통 기반기술 개발을, 참여 기업들은 기본기술과 제품화를 위한 기술개발을 각각 담당했다. 사업 추진 결과 제1차년도인 1986년 10월부터 이듬해 5월까지 0.8μm 4M DRAM 설계의 1차 시안이 작성되고 소요 단위 공정 기술과 검사, 조립 기술 등이 개발되었다. 1988년 2월에는 최초 시제품이 개발되었다.


1988년 5월까지 제2차년도에는 설계 및 공정을 보완개발하고 실험 시제품을 개발함으로써 수율 20%의 양산 시제품 및 검사와 조립 기술을 개발했다.

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등록자

관리자

등록일
2020-04-07 11:01
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